油擴散高真空抽氣站/台車
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油擴散高真空抽氣站/台車
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AHA/Edwards Duffusion Pumping Station/Cart
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自動控制真空系統模組
主要控制真空元件可以驅動如下元件及廠牌 TMP :可以驅動如下的廠牌 跟型號 Agilent：TMP V-81M, V81T, V84FS, V74FS,V304FS, V704FS,V804FS, V1001 Pfeiffer： Hipace 80, Hipace 300, Hipace 400, Hipace 700 Edwards： Next85 , Next 240, 300, 400 , 此廠牌可顯示TURBO壽命預測&保養時間 Leybold：Turbovac I(X)90,250 可以顯示運轉電流 消耗功率 軸承溫度 顯示轉速 設定轉速 改變轉速 紀錄使用過程 Primary Pump Oil Rotary Vane Pump ( Any Type) Dry Scroll Pump Edwards ：Nxds series, for Inverter Motor for Power Saving 可以顯示軸承溫度 紀錄使用時間 顯示轉速 壓力到時自動改變轉速 節省能源 Edwards XDS35i(變頻省電需要真空計導引) Agilent Scroll Pump,：IDP3,7,10,15 Agilent Scroll Inverte：300,600 Gauges Agilent： FRG720 full range , hot filament and Pirani, 1atm to -10 range FRG700/702 full range gauge, inverted magnetron and Pirani, with wide measurement range from 5 x 10-9 mbar to atmosphere Edwards： WRG full range gauge, inverted magnetron and Pirani, with wide measurement range from 5 x 10-9 mbar to atmosphere AIM inverted magnetron and Pirani, with wide measurement range from 5 x 10-9 mbar to atmosphere APG-100 , Pirani 1 ATM ~-4 Torr Inficon： BPG-400 ull range , hot filament and Pirani, 1atm to -10 range MPG-400 Psg 500 Granville Phillips： 354 , 5E-2~-10 range 356, 1 atm ~-10 range 275 , 1 atm ~-4 range Valves& Power ( For PCB/Cooling Fan,,,,,) Logistics control
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