多功型分析儀
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規格介紹:
All metal鋁合金模組化超高真空腔體
規格介紹:All metal鋁合金模組化超高真空腔體
這套多功能鋁合金超高真空系統，是為多種用途設計的通用型真空系統，透過模組化的設計，使得各個腔體能夠無限銜接延伸，元件具備通用的 ISO 標準尺寸，也可搭載AHA控制器。
Material: A6061T6 Aluminum alloy
- Dimensions (height × width × length):
- Inner: 150 mm × 150 mm × 250 mm
- Outer: 200 mm × 200 mm × 250 mm
Thermal Outgassing Rate: q < 1×10-10 mbar L/(s cm2
)
Leakage Rate: QL < 1×10-9 mbar L/s
Ultimate Pressure (after vacuum baking): P < 2×10-10 mbar
